掃描/透射電子顯微鏡光學系統經過改進，實現了分辨率的進一步提升，以嶄新的形象亮相。采用半浸沒式物鏡和照明系統，能提供穩定的高空間分辨率觀察和分析。
掃描/透射電子顯微鏡主要特點如下：
1.半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場，因而可以獲得超高分辨率。
2.獨特的電子光學系統，既實現了高倍率觀察又能進行多種分析。
3.浸沒式肖特基場發射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內發射的電子。
4.最佳光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方，在整個探針電流范圍內自動優化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統方式相比，也能獲得很小的電子束斑。
5.柔和電子束模式(GB模式)通過給樣品施加負電壓，從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓，因此可以在低加速電壓下進行高分辨觀察。由于電子束在樣品中散射區域減小，就會容易地觀察樣品淺表面的精細結構，能減少對熱敏樣品的損傷，可以直接觀察非導電性樣品。
6.過濾器是由二次電子控制電極、背散射電子控制電極、過濾器電極組合而成的獨特的能量過濾器。當電子束照射樣品時，從樣品表面會釋放出各種能量的電子。過濾器通過組合多個靜電場使電子束保持在透鏡系統的中央，同時還對樣品中產生的二次樣品和背散射電子進行選擇和檢測。
7.掃描/透射電子顯微鏡LABE檢測器能檢測低角度背散射電子。在低加速電壓下對樣品表面精細的形貌信息、在高加速電壓下對樣品的組分信息都能進行高分辨觀察。
